Proceedings of the XIII International Conference on Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons (ION 2022) Kazimierz Dolny, Poland June 27–30 2022 - Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej. Instytut Fizyki; Politechnika Lubelska (Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki)
Keywords: Fizyka ciała stałego