Zależność szybkości rozpylania jonowego Si, poli-Si i SiO2 od temperatury - Sielanko, Juliusz (1938- ).; Sowa, Marek (1944- ).; Meldizon, Jerzy (1927- ).; Żuk, Włodzimierz (1916-1981).; Skrzypiec, Anna (fizyka). (UMCS)
Keywords: fizyka