@misc{Sielanko_Juliusz_(1938-_)._Zależność,
 author={Sielanko, Juliusz (1938- ). and Sowa, Marek (1944- ). and Meldizon, Jerzy (1927- ). and Żuk, Włodzimierz (1916-1981). and Skrzypiec, Anna (fizyka).},
 howpublished={online},
 publisher={UMCS},
 language={pol},
 type={artykuł},
 title={Zależność szybkości rozpylania jonowego Si, poli-Si i SiO2 od temperatury},
 keywords={fizyka},
}